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產品介紹
雙面研磨機YJ-16B5LC

本機器主要用于碳化硅片、砷化鎵片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨。因此在電子、儀器儀表、光學材料等行業里有著廣泛的應用。

產品特點
  • 01

    機器采用四電機驅動,下盤、上盤、內齒圈和太陽輪分別由電機單獨驅動;

  • 02

    機器整體結構緊湊,運行平穩,有效地縮短各傳動軸的長度,增加機器的機械剛度;

  • 03

    電機采用變頻調速器控制,能在有效設置范圍內以任意速度工作、停止、加速、減速;

  • 04

    上盤裝置增加機械的安全裝置,在擺片、維修等狀態下不會因突然故障而下降,增加了安全性。

產品參數
  • 上、下盤尺寸
    φ1125×φ393×50(mm)
  • 游星輪數量
    5
  • 工件厚度
    M=3 Z=142
  • 工件直徑
    0.35~35mm
  • 上盤轉速/下盤轉速
    5~45rpm/5~48rpm
  • 太陽輪轉速/內齒圈轉速
    3~30rpm/3~24rpm
  • 內齒圈、太陽輪抬升行程
    35mm
  • 上盤壓力范圍
    ≤ 500Kg
  • 上、下盤電機
    7.5kw 1450rpm/7.5kw 1450rpm
  • 太陽輪電機/內齒圈電機
    1.5kw 1450rpm/2.2kw 1450rpm
  • 升降電機/砂泵電機
    400w/250w
  • 電源/耗電量
    3相 380V/20KW
  • 氣源/耗氣量
    0.5~0.6Mpa/20xN(L/H)(N為每小時循環工作次數)
  • 上、下盤平面度
    ≤0.03mm
  • 下盤端跳/壓力控制精度
    ≤0.02mm/≤±5Kg
  • 外形尺寸
    2350×1660×2550 (mm)
  • 機器重量
    ~6000Kg

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